В.П. Савинов. Физика высокочастотного емкостного разряда
В монографии подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле.
Издательство: Физматлит
Год: 2013
Формат: pdf
Страниц: 310
Язык: русский
Скачать книгу (102 МБ):
oksanavalera 28/04/21 Просмотров: 1147
0